打個比方:依據美國聯邦政府頒布的標準[Federal Standard (FS) 209E, 1992],可將無塵室分為六級。 分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。同理,隧道爐在干燥固化產品時,也需要達到其相應的級數。
其等級是利用塵粒數目來敘述的,假設塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級、10級、100級、1000級無塵隧道爐,那么在這個相同的空間里面最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,1000顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵隧道爐等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。
由于對產品越來越精細化的質量標準,所以我們在生產中,需要借助一些設備,去完善產品的需要,那么,對于需要干燥性的產品而言,就離不開,無污染化的生產環節,就更少不了,一個人造的無塵環節,千級無塵隧道爐,里面含有的粒子遠低于一般的環境,這樣也是增加了對(無塵環境)潔凈度的需求性。在工業上即使粒子之尺寸小于1µm,也可能阻礙產品的運作或降低壽命。這樣的真空化環境,就相當于太空環境中,一大型的航天器,容不得一小粒子物質的碰撞一樣,不能出一絲絲偏差。追求匠心的精髓內涵,意是如此。
尤其是對于半導體,集成電路等一些電子高科技產品而言,塵粒的存在,更使得芯片失效或像一粒病毒一樣,惡化芯片。
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